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一种石墨烯基柔性激光电池的制作方法技术
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文档序号:41112179
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本发明提供一种石墨烯基柔性激光电池的制作方法,包括如下步骤:S1、在砷化镓衬底表面外延生长电池外延层功能薄膜;S2、在外延层和石墨烯基薄膜表面磁控溅射或者蒸镀一定厚度的金属层;S3、利用键合工艺将所述的电池外延层和石墨烯柔性衬底直接键合在一...
该专利属于上海空间电源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海空间电源研究所授权不得商用。
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