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一种梁膜结合的MEMS电容压力传感器，包括封装盖板、电容结构层以及背腔，其中电容结构层包含感压薄膜、移动梳齿、固定梳齿、移动梳齿连接梁、移动梳齿耦合梁、固定梳齿悬臂梁、凸台和锚点。移动梳齿连接在耦合梁两端通过连接梁和锚点与感压膜片固连，固定...
该专利属于山东理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东理工大学授权不得商用。

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