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本发明提供一种基于自监督对比学习的混合型晶圆缺陷识别分割方法，包括以下步骤：收集大量无标签混合型晶圆数据，生成少量有像素级别标签的混合型晶圆数据；将有像素级别标签的混合型晶圆数据集划分为训练集和测试集；构建深度学习图像识别分割网络，将整个网...该专利属于哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）授权不得商用。