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本发明提出的测试片及应用该测试片进行光学测量的装置和方法，不仅解决了空间受限的情况下光束参数测试的难题，而且在光线透射和不透射的两种情况下均能使用，还进一步提高了光斑测量的精度，准确的得出汇聚光束的最小光斑尺寸，尤为难得的是，还能同时获得待...
该专利属于上海微崇半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微崇半导体设备有限公司授权不得商用。

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