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一种大光学带宽硅基慢波电光调制器制造技术
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文档序号:41092624
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本发明公开了一种大光学带宽硅基慢波电光调制器,包括马赫曾德尔调制单元和电极,所述调制单元包括分束器、合束器、调制臂;所述的分束器,用于将待调制光分束;所述调制臂用于调制分束后的待调制光;所述的合束器,用于将调制后的光进行合并;所述调制臂包括...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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