下载一种附载体超薄铜箔及降低其针孔的制造方法的技术资料

文档序号:41091196

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本发明公开了一种降低附载体超薄铜箔针孔的方法。附载体超薄铜箔由载体层,复合功能层,超薄铜层所组成。复合功能层结构为打底层‑阻挡层‑剥离层。本发明采用等离子体轰击辅助成膜技术。增强复合功能层内各膜层间结合力,同时增强复合功能层与载体层间结合力...
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