下载一种晶圆边框检测方法、装置、设备及存储介质的技术资料

文档序号:41088363

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种晶圆边框检测方法、装置、设备及存储介质,应用在工业检测优化领域,其中方法包括:获取晶圆图片,识别晶圆图片中的目标晶圆和目标晶圆对应的目标框;识别目标晶圆中的缺陷,将缺陷所在区域的灰度值归零;计算目标晶圆所在区域的第一平均灰度值...
该专利属于深存科技(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深存科技(无锡)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。