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一种晶圆边框检测方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸
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文档序号:41088363
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本申请涉及一种晶圆边框检测方法、装置、设备及存储介质,应用在工业检测优化领域,其中方法包括:获取晶圆图片,识别晶圆图片中的目标晶圆和目标晶圆对应的目标框;识别目标晶圆中的缺陷,将缺陷所在区域的灰度值归零;计算目标晶圆所在区域的第一平均灰度值...
该专利属于深存科技(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深存科技(无锡)有限公司授权不得商用。
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