专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
通威微电子有限公司
>
碳化硅生长装置和碳化硅生长炉制造方法及图纸
>技术资料下载
下载碳化硅生长装置和碳化硅生长炉的技术资料
文档序号:41087646
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种碳化硅生长装置和碳化硅生长炉,涉及碳化硅晶体生长技术领域,该碳化硅生长装置包括坩埚本体、坩埚盖和调温件,坩埚本体具有容纳腔,且坩埚本体的顶部设置有生长环,生长环内形成有与容纳腔连通的生长腔;坩埚盖设置在坩埚本体的顶部,并接合...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。