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本发明公开了一种基于超快光声原理的离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统，该检测方法包括：(1)对包含离子注入的样品进行基于超快光声技术的泵浦光激励，产生高频相干声脉冲，接着用探测光接收超声脉冲，获得瞬态反射率随时间变化的信号；(2)对获得的...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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