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本发明公开了一种双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器。该控制方法包括以下步骤：根据多个实测的主振荡放电腔电压与预设的电压均值阈值的电压求得MO电压差值均值；在MO电压差值均值大于零的情况下，通过模糊PI控制调整PI参数，计算主振...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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