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掺杂SiOC液体起始材料提供p型聚合物衍生的陶瓷SiC晶体材料，包括晶棒和晶圆。p型SiC电子设备。低电阻率SiC晶体、晶圆和晶棒以磷作为掺杂剂。用于掺杂SiC晶体气相沉积生长的聚合物衍生的陶瓷掺杂SiC成形装料源材料。...
该专利属于帕里杜斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过帕里杜斯有限公司授权不得商用。

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