下载一种采用感应加热实现水平定向生长板状晶体的装置和方法的技术资料

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本发明涉及一种采用感应加热实现水平定向生长板状晶体的装置和方法,装置包括生长腔室,生长腔室内放置坩埚,所述坩埚上方敞口并设有籽晶夹持口、放肩生长段和等宽生长段;生长腔室的外部沿坩埚的长度方向环设有感应线圈;坩埚的上表面设有盖板,盖板将坩埚放...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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