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一种集成硅透镜的气体传感器芯片及制备方法技术
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文档序号:41069984
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本公开的实施例提供一种集成硅透镜的气体传感器芯片及制备方法,包括:所述芯片包括硅透镜阵列结构和芯片本体;所述硅透镜阵列结构包括硅基底和若干滤光片;所述硅基底具有相对的第一表面和第二表面,所述第一表面形成有透镜阵列;所述硅基底的第二表面设置有...
该专利属于无锡芯感智半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡芯感智半导体有限公司授权不得商用。
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