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本发明是一种具有基板膜和在基板膜上形成的半导体膜的半导体装置，基板膜为将芳香族二胺类和芳香族四羧酸酐类进行缩聚制得的聚酰亚胺膜，其长度方向的拉伸模量为7GPa以上；半导体膜是由平均粒径为1μm以上的结晶粒子构成的多晶膜。...
该专利属于国立大学法人筑波大学所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人筑波大学授权不得商用。

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