下载用于图案化有机器件的三层光致抗蚀剂系统和方法的技术资料

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用于图案化有机器件的三层抗蚀剂系统设计和方法,该有机器件包括适合于高清光场显示器的有机发光二极管(OLED)器件。三层光致抗蚀剂系统由含氟聚合物基层、无机转移层和顶部正型光致抗蚀剂层构成,该顶部正型光致抗蚀剂层可保护基板上形成的有机物免受传...
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