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一种深紫外LED器件及其外延生长方法技术
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文档序号:41064079
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本发明提供了一种深紫外LED器件及其外延生长方法,上述深紫外LED器件包括沿生长方向依次层叠设置的AlN衬底、AlN恢复层、第一应力缓解层、第二应力缓解层、电子注入层、N型电子阻挡层、量子阱有源层、P型电子阻挡层、空穴注入层以及欧姆接触层,...
该专利属于武汉优炜芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉优炜芯科技有限公司授权不得商用。
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