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本发明公开了一种晶圆传输用桁架机械手，该晶圆传输用桁架机械手主要由X‑Y‑Z线性模组4和机械手装置3构成。X‑Y‑Z线性模组4负责驱动机械手装置3在三维空间内沿X、Y或/和Z轴方向进行精确的位置调节。这种调节机制确保了机械手可以准确地到达工...
该专利属于苏州盛拓半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州盛拓半导体科技有限公司授权不得商用。

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