下载一种有机硅纳米疏水膜层及其制备方法的技术资料

文档序号:41060178

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本发明的具体实施方式提供一种有机硅纳米疏水膜层及其制备方法,所述有机硅纳米疏水膜层由硅氧烷类单体等离子体聚合沉积形成,制备过程中,通入气态的硅氧烷类单体,开启双电极向等离子体反应腔室内放电,所述硅氧烷类单体在所述基材表面等离子体化学气相沉积...
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