温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及精密与超精密加工领域，针对现有晶圆边缘倒角后出现的尖角、割裂、划痕、毛刺等瑕疵，特别公开了一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法，所述装置包括机床、真空吸盘、磁场发生装置、介质循环装置。所述晶圆边缘多磁极磁场可控磁性...
该专利属于山东理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。