下载一种反铁电热开关原型器件的技术资料

文档序号:41058413

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本发明公开了一种反铁电热开关原型器件,所述反铁电热开关原型器件采用反铁电材料制备得到。所述反铁电热开关原型器件包括:(111)取向的外延薄膜;所述(111)取向的外延薄膜由底电极层和沉积在所述底电极层表面的反铁电材料层构成。(111)取向的...
该专利属于哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)授权不得商用。

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