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本技术提供了一种用于洁净室压缩空气管道的除杂系统,属于空气管道除杂技术领域,包括主体管道、旁支管道和压差检测计;主体管道上依次设置有多个第一过滤器,且多个第一过滤器的除尘精度沿主体管道的通气方向顺次提高;旁支管道与主体管道并联设置;旁支管道...该专利属于中国电子系统工程第四建设有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子系统工程第四建设有限公司授权不得商用。
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本技术提供了一种用于洁净室压缩空气管道的除杂系统,属于空气管道除杂技术领域,包括主体管道、旁支管道和压差检测计;主体管道上依次设置有多个第一过滤器,且多个第一过滤器的除尘精度沿主体管道的通气方向顺次提高;旁支管道与主体管道并联设置;旁支管道...