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本技术公开了一种旋转载料台电气单元、旋转载料台及晶棒加工系统，用于为旋转载料台上的旋转载料单元提供能源动力，旋转载料单元可在旋转载料台上转动，其中，该旋转载料台电气单元包括电气固定部和电气转动部，电气固定部与外部能源输入设备连接，电气转动部...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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