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本技术公开了芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其包括：电源电路，为系统提供所需电能；清洗模块，对晶圆表面进行清洗，与电源电路通信连接；监测模块，所述监测模块由漏液传感器、信号处理模块和报警模块组成，所述漏液传感器用于监测清洗模块发生异常...
该专利属于和舰芯片制造（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和舰芯片制造（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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