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本技术涉及控制面板技术领域，具体为超高纯气体两进一出控制面板，包括初级过滤器、主控隔膜阀、减压阀、精密过滤器、低压隔膜阀、排空隔膜阀和真空卡盘，所述初级过滤器的出气端分别与主控隔膜阀和排空隔膜阀的进气端相连通，两组所述主控隔膜阀的出气端均与...
该专利属于上海洁安流体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海洁安流体科技有限公司授权不得商用。

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