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一种生长大晶粒铸造多晶硅的方法技术
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文档序号:4099334
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本发明公开了一种生长大晶粒铸造多晶硅的方法,包括:将中心开孔的石英片铺在坩埚底部;其中石英片为梯形体结构,石英片的两平行底面中面积较小的底面与所述坩埚底部接触;先将单晶硅块填入所述石英片的开孔位置,再依次放入多晶硅原料和掺杂元素;加热使多晶...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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