下载基于宽光谱监控的镀膜工艺方法的技术资料

文档序号:40991940

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,所述方法包括:安装待镀膜的工件及监控片;初始化并加载镀膜工艺;绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置;镀膜工艺程序的自动执行;在镀膜过程中,实时采集监控片的光谱能量数据,拟合出当前膜层...
该专利属于佛山市博顿光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。