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本发明属于高熵合金材料技术领域，公开一种硬质高熵合金氮化物薄膜材料及其制备方法，所述硬质高熵合金氮化物薄膜材料按原子质量百分数计，由以下组分组成：Al 9％～12％、Ti 9％～12％、Cr 9％～12％、Nb 7％～10％、Y 3％～6％...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

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