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本发明涉及气体分离技术领域，具体涉及一种氦气脱氖系统及其方法，包括级膜组、二级膜组、三级膜组、非渗透气汇集管路、排空管路、高纯氦气回收装置，一级膜组的输入端通入从含氖高纯氦气入口提供的含氖高纯氦气，一级膜组的渗透端连通二级膜组的输入端、或连...
该专利属于甘肃庆阳瑞海嘉能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甘肃庆阳瑞海嘉能源科技有限公司授权不得商用。

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