下载表面形貌检测系统和方法、硬度检测设备和方法的技术资料

文档序号:40980563

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本申请公开一种表面形貌检测系统,包括:光源,用于发射光源光;光引导组件,用于将光源光分成第一光束和第二光束出射;第一调制器,用于调制第一光束并引导调制后的第一光束至待测物表面,第一光束在待测物表面反射后形成探测光;以及参考光组件,包括反射片...
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