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一种绝对式四自由度位姿传感器制造技术
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文档序号:40972808
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本发明公开了一种绝对式四自由度位姿传感器,包括光源模块、测量光栅模块、准直模块、分光模块、大角度监测模块、光隔离器、小角度测量模块,大角度监测模块包括监测组件,小角度测量模块包括测量组件;光源模块产生光源,入射打在测量光栅模块上衍射产生衍射...
该专利属于清华大学深圳国际研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳国际研究生院授权不得商用。
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