下载超表面探测器及其制造方法的技术资料

文档序号:40972782

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本发明提供一种超表面探测器及其制造方法,针对超表面结构与探测器之间的集成,既能够避免超表面的性能下降又能够降低成本。在本发明的制造方法中,首先任选一个图像传感器,移除传感器表面的窗片使像敏面裸露,接着,在传感器的像敏面上形成一定厚度的镀层,...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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