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单分子器件探针进针装置、电学检测装置及电学检测装置的导通控制方法制造方法及图纸
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文档序号:40969820
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本发明涉及电学检测技术领域,特别公开一种单分子器件探针进针装置、电学检测装置及电学检测装置的导通控制方法,其中,所述单分子器件探针进针装置包括基座、宏动机构及微动机构;所述宏动机构设于所述基座,所述微动机构设于所述宏动机构;所述微动机构安装...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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