下载一种超导微波谐振器及其频率调控方法的技术资料

文档序号:40965207

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本发明公开一种超导微波谐振器及其频率调控方法,属于谐振器技术领域,该谐振器包括衬底和设置在所述衬底上的氮化铌薄膜,氮化铌薄膜上刻蚀出第一工作接地线、第二工作接地线以及设置在两个工作接地线之间的中心导体;该频率调控方法在谐振器的两个工作接地线...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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