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本发明提出一种六氟化硫气体提纯净化装置及方法，方法包括：开启第一真空泵，将含有杂质的六氟化硫气体引入一级分离室的第一腔室，且使小于第一过滤膜的孔径的第一杂质气体穿过第一过滤膜后进入第二腔室，第一杂质气体经过第一出气管排出；开启第二真空泵，经...
该专利属于西安热工研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安热工研究院有限公司授权不得商用。

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