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一种高性能铜膜处理工艺制造技术
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下载一种高性能铜膜处理工艺的技术资料
文档序号:40963041
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本发明公开了一种高性能铜膜处理工艺,属于铜膜处理技术领域,包括以下步骤:将经预处理铜膜进行粗化、固化和钝化处理后,得钝化铜膜,将钝化铜膜浸入改性硅烷溶液中涂覆,经固化后完成高性能铜膜的处理工艺;其中,γ‑氨丙基三乙氧基硅烷和苯基三甲氧基硅烷...
该专利属于江苏华旺新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华旺新材料有限公司授权不得商用。
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