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一种用于微小生物体的气动微操作装置制造方法及图纸
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下载一种用于微小生物体的气动微操作装置的技术资料
文档序号:4096021
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本发明公开了一种用于微小生物体的气动微操作装置,包括控制器、负压真空泵、负压节流阀、真空比例阀、吸附电磁阀、压力传感器、微调姿组件、正压气泵、正压节流阀、正压比例阀、释放电磁阀、速度控制阀和末端微夹。本发明分为负压吸附气路和正压释放气路,可...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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