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本发明提供了一种基于相变材料的偏振旋转集成光子器件及其制备方法，其中，集成光子器件包括：硅衬底和复合波导；复合波导包括硅基波导和相变材料层，硅基波导呈方条形且相邻的至少两侧面刻蚀形成凹槽，相变材料层覆盖硅基波导上相邻两侧面上的凹槽，硅基波导...
该专利属于嘉应学院所有，仅供学习研究参考，未经过嘉应学院授权不得商用。

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