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本申请提供一种化学放大型光致抗蚀剂及其制备方法，涉及光刻胶技术领域。该光致抗蚀剂按质量百分比为100％计，包括如下组分：10％‑30％的第一聚合物树脂和第二聚合物树脂、0.1％‑0.5％的光致产酸剂、0.1％‑0.5％的酸淬灭剂、余量为助剂...该专利属于阜阳欣奕华材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阜阳欣奕华材料科技有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种化学放大型光致抗蚀剂及其制备方法，涉及光刻胶技术领域。该光致抗蚀剂按质量百分比为100％计，包括如下组分：10％‑30％的第一聚合物树脂和第二聚合物树脂、0.1％‑0.5％的光致产酸剂、0.1％‑0.5％的酸淬灭剂、余量为助剂...