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一种过渡金属硫化合物单晶晶圆生长的方法技术
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文档序号:40952786
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本发明公开了一种过渡金属硫化物单晶晶圆的生长方法,包括以下步骤:1)将单晶蓝宝石退火;2)将退火后的蓝宝石晶圆作为基底,将过渡金属箔材平行于基底放置,在箔材与基底之间平行放置多孔阻隔层;3)在基底的气流上游放置硫单质;4)向低压化学气相沉积...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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