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本发明公开了一种蓝宝石衬底加工方法，包括：S1、在蓝宝石衬底上沉积SiO<subgt;2</subgt;层，得到第一衬底；S2、在所述第一衬底上涂覆光刻胶，得到光刻胶层，并在所述光刻胶层上制作图形；S3、利用所述图形对所述第一衬...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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