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本发明涉及基于粗糙表面散射分析的小型化激光三角精度提升方法，包括以下步骤：构建依赖入射波、观察波与散斑强度的散斑统计模型；根据入射波倾斜角度、观察波的倾斜角度，利用散斑统计模型得到该入射波、观察波对应的散斑尺寸，实现散射等效以提升位移检测精...
该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。

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