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提供了一种等离子体生成系统，其包括：可变频微波发生器，其被配置为生成微波功率；和等离子体施加器，其被配置为使用来自微波发生器的微波功率来(i)对其中的工艺气体进行点火以在等离子体点火过程中引发等离子体和(ii)将等离子体保持在稳定状态过程中...
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