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本发明公开了一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器,所述敏感元件包括上盖、下盖和敏感结构,上盖、下盖与敏感结构形成封闭腔;敏感结构包括封装边框、支撑梁、阻尼膜片和质量块,封装边框用于保护质量块,封装边框的厚度大于质量块的厚度;阻尼膜片...该专利属于中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所授权不得商用。