下载键合设备的技术资料

文档序号:40936606

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本发明涉及半导体封装技术领域,具体而言,涉及一种键合设备。键合设备包括芯片供给组件和至少两组键合组件,任一组键合组件与芯片供给组件之间均存在一个键合交接位置,芯片供给组件能够将待键合的芯片转运至任一键合交接位置;键合组件包括基底晶圆载台模块...
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