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本发明属于压力传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度高频响石墨烯压力传感器，封装外壳上设置有盖帽，封装外壳内部底端安装有陶瓷基座，陶瓷基座上部键合有检测基片，检测基片下部刻蚀有腔，第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁、第四弹性梁均与检测基片连接...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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