下载一种晶圆切割保护膜及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:40918480

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本发明涉及一种晶圆切割保护膜及其制备方法和应用。本发明的晶圆切割保护膜包括依次设置的软质基材层、胶黏剂层和离型膜层;所述胶黏剂层的制备原料按重量份数计,包括以下的组分:软单体30份~60份、硬单体1份~30份、功能单体5份~20份、含硅单体...
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