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本发明公开了一种可变偏压的MEMS陀螺模块化在片测试系统，包括：无源针卡，连接晶圆级MEMS陀螺的各组梳齿电极与质量块电极，并与有源测控模块相连；数据采集卡，通过时序控制，输出控制电平、白噪声激励信号、直流偏置电压信号，以控制开环阻容测试模...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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