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半导体光刻胶组合物和使用组合物形成图案的方法技术
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文档序号:40911914
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提供一种半导体光刻胶组合物和一种使用组合物形成图案的方法,所述半导体光刻胶组合物包含由化学式1表示的有机锡化合物和溶剂;和一种使用其形成图案的方法。...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。
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