温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种光电探测器及其形成方法，其中，光电探测器的形成方法包括：提供衬底，所述衬底包括若干器件区和位于各器件区之间的隔离区；在所述隔离区内形成若干浅沟槽隔离结构和贯穿所述浅沟槽隔离结构的若干初始深沟槽隔离结构；刻蚀各所述初始深沟槽隔离结构，形成...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。