下载坩埚及其制备方法的技术资料

文档序号:40909664

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本申请公开了一种坩埚及其制备方法,涉及硅晶棒制备技术领域,本申请的坩埚的制备方法,包括:将聚甲基硅氧烷与有机溶剂按照质量比为1:0.6‑1混合形成混合溶液;将石英粉与混合溶液按照质量比为1:50‑1:100在球磨机内进行混合,形成待涂溶液;...
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